Металлургия полупроводников
Фалькевич Э.С., Пульнер Э.О., Червоный И.Ф.
Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведеныобласти его примения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом поизводстве. |
![]() |
современной технике пользуются рядом способов получения материалов высокой чистоты. Таковы йодидный метод, применяемый для очистки некоторых металлов, и метод зонной плавки; оба они описаны в разделе производства...
|