Микроанализ

[microanalysis] - 1. Комплекс физич. методов локального (в объеме неск. мкм) анализа химич. состава и структуры образца или изделия. 2. Химич. анализ пробы массой до 1 мг:
лазерный микроанализ [laser microanalysis] — метод определения химич. состава вещ-ва в локальном объеме, основ, на воздействии лазера, возбужд. эмиссию частиц, в том числе квантов излучения;
рентгеноспектральный микроанализ [Х-гау spectrum analysis] — метод локального химич. анализа, основ, на регистрации спектра хар-ристич. рентг. излучения, возбужд. в вещ-ве узким пучком эл-нов или рентг. лучей.