[grating] — 1. В эл-нной оптике -совокуп. близко располож. паралл. линий, вдоль к-рых эл-нный пучок обегает (сканирует) участок пов-ти образца. 2. Развертка изображ. РЭМ. 3. Система большого числа однородных элементов (отверстий, штрихов, линз и т.п.) для преобраз. направ. пучка света.