Микроинтерферометр

[microinterfe-rometer] — прибор для измерения неровностей на наружных поверхностях металлоизделия с направл. следами механич. обработки, а тж. для определения толщины пленочных покрытий. В оптич. схеме м. использованы интерферометр и микроскоп, что позволяет од-новрем. наблюдать исслед. поверхность и ин-терференц. картину, получ. в рез-те взаимодействия двух когерентных световых волн: сравнения, отраж. отобразц. зеркала, и отраж. от исслед. поверхности. С помощью м. можно измерять высоты неровностей от 0,03 до 1 мкм. Нек-рые м. имеют дополнит, устр-ва для измерения неровностей до 10 мкм.