Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий

Барвинок В.А.

Машиностроение, 1990 г.

Глава I. ОСНОВНЫЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ И ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ПОКРЫТИИ ПРИ НАПЫЛЕНИИ

1.1. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Существующие методы получения покрытий целесообразно классифицировать исходя из физической сущности процессов, лежащих в их основе и определяющее физико-механическиеи эксплуатационные свойства покрытий.

1. По состоянию вещества для получения покрытий (твердое, жидкое, атомарное и иаоонровашюе).

2. По способу получения вещества для нанесения покрытий (плазменный и термический нагрев, термическое испарение, катодное распыление, дуговое испарение, плазменная ионизацин атомарной компоненты и так далее).

3. По составу транспортной, защитной или реакционной  атмосферы (неконтролируемая, динамический вакуум, вакуум, инертный газ. плазма, реакционный газ).

4. По способу активации процесса формирования покрытий(термический, кинетический, плазменный, ионная бомбардировка, электронная и ионная стимуляция).

5. По характеру процессов, протекающих в зоне формированияпокрытий (кристаллизация, рекристаллизация,  физическая конденсация,  химические реакции, плазмохимические  реакции, диффузионное насыщение, гомогенные и гетерогенные поверхностные реакции).